焦点検出装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-251627
公開番号（公開出願番号）：特開平10-096625
出願日： 1996年09月24日
公開日（公表日）： 1998年04月14日
要約：

【要約】【課題】各構成品相互の光軸ずれを効率良く且つ高精度に検出することが可能な焦点検出装置を提供する。【解決手段】点光源16と、点光源からの測定光を被測定面18に照射すると共に被測定面からの反射光を集光させる光学系と、光学系によって集光した反射光を受光して被測定面に対する焦点検出可能な焦点検出ユニット20と、焦点検出ユニットに受光されなかった光の光量に基づいて、光学系の光軸に対する焦点検出ユニットの光軸ずれを検出可能な信号処理ユニット22とを備える。信号処理ユニットは、ミラー部材28の微小開口28aを通過すること無くミラー部材の反射面28bから反射した光を受光可能な光検出器34と、光検出器から出力された電気信号に所定の演算を施すことによって、光軸Aに対する微小開口の光軸ずれを検出する信号処理系36とを備える。

請求項（抜粋）：

光源と、この光源から出射された測定光を被検体の測定面に照射すると共に前記測定面から反射した反射光を集光させる光学系と、この光学系によって集光した反射光を受光することによって、前記測定面に対する焦点検出可能な焦点検出ユニットと、この焦点検出ユニットに受光されなかった光の光量に基づいて、前記光学系の光軸に対する前記焦点検出ユニットの光軸ずれを検出可能な信号処理ユニットとを備えていることを特徴とする焦点検出装置。

IPC (4件)：

G01C 3/06 , G01B 11/00 , G02B 7/34 , G03B 13/36

FI (4件)：

G01C 3/06 P , G01B 11/00 A , G02B 7/11 C , G03B 3/00 A

前のページに戻る