特許
J-GLOBAL ID：200903075237331120
加速度センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-122999
公開番号（公開出願番号）：特開平10-300771
出願日： 1997年04月25日
公開日（公表日）： 1998年11月13日
要約：
【要約】【課題】 3軸の検出特性の等しい加速度センサを得る。【解決手段】 板状の可撓部材と、該可撓部材の表面に貼付される電極を設けた圧電素子と、該可撓部材に直接または間接的に貼付される重錘体と、該可撓部材の外周を直接または間接的に支持する支持部材を有する加速度センサにおいて、板状の可撓部材の内部に原点を定義し、この原点を通り該可撓部材の平面に平行な方向にX軸を、原点においてX軸と直交し、かつ、該可撓部材の平面に平行な方向にY軸を、原点を通り、かつ、該可撓部材の平面に垂直な方向にZ軸をそれぞれ定義したとき、前記重錘体と前記支持部材が固定されている部分を除いた前記圧電素子上で、前記加速度センサにZ軸方向の加速度を加えたときに前記圧電素子に生じる応力がゼロになる部分およびその近傍と、前記加速度センサにX、Y平面と平行な方向に加速度を加えたときに前記圧電素子に生じる応力がゼロとなる部分およびその近傍を避けて、かつ、原点側(内周側)に検出電極を形成する。
請求項（抜粋）：
板状の可撓部材と、該可撓部材の表面に貼付される電極を設けた圧電素子と、該可撓部材に直接または間接的に貼付される重錘体と、該可撓部材の外周を直接または間接的に支持する支持部材を有する加速度センサにおいて、板状の可撓部材の内部に原点を定義し、この原点を通り該可撓部材の平面に平行な方向にX軸を、原点においてX軸と直交し、かつ、該可撓部材の平面に平行な方向にY軸を、原点を通り、かつ、該可撓部材の平面に垂直な方向にZ軸をそれぞれ定義したとき、前記重錘体と前記支持部材が固定されている部分を除いた前記圧電素子上で、前記加速度センサにZ軸方向の加速度を加えたときに前記圧電素子に生じる応力がゼロになる部分およびその近傍と、前記加速度センサにX、Y平面と平行な方向に加速度を加えたときに前記圧電素子に生じる応力がゼロとなる部分およびその近傍を避けて、かつ、原点側(内周側)に検出電極を形成することを特徴とする加速度センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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