特許
J-GLOBAL ID：200903075241744790
ブレーズド型回折格子の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
西岡 義明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-037142
公開番号（公開出願番号）：特開平6-250007
出願日： 1993年02月26日
公開日（公表日）： 1994年09月09日
要約：
【要約】【目的】 ブレーズ角の大きいBHGを製作する新規な方法を提供する。【構成】 石英などの無機材料基板上にAu、Crなどの金属層、レジスト層を順に形成したものにホログラフィック露光法でレジストパターンを製作する工程と、該レジストパターンを適当なエッチングガスを用いたイオンビ-ムエッチングにより断面形状が矩形状のAuあるいはCrなどの金属パターンに転写する工程と、該金属層に転写されたパターンをエッチングマスクとしてパターン配列の斜め上方から金属に対して基板のエッチレートが大きなガスにより金属パターンが消失するまでイオンビームエッチングを行う工程とからなる。
請求項（抜粋）：
無機材料基板上に金属層、レジスト層を順に形成したものにホログラフィック露光法でレジストパターンを製作する工程と、該レジストパターンをイオンビ-ムエッチングにより断面形状が矩形状の金属パターンに転写する工程と、該金属層に転写されたパターンをエッチングマスクとしてパターン配列の斜め上方から金属に対して基板のエッチレートが大きなガスにより金属パターンが消失するまでイオンビームエッチングを行う工程とからなるブレーズド型回折格子の製造方法。
IPC (2件)：
引用特許：
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