特許

J-GLOBAL ID：200903075244915154

脱気装置

発明者： 大谷 肇 ,  西井 弘行 ,  有吉 俊彦
出願人/特許権者： 日東電工株式会社
代理人 (1件)： 清原 義博
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-346609
公開番号（公開出願番号）：特開平10-165708
出願日： 1996年12月09日
公開日（公表日）： 1998年06月23日
要約：

【要約】【課題】 液体中の溶存ガスを除去する脱気作業において、脱気処理中の液漏れ発生を速やかに確認することができ液漏れにより発生するトラブルを未然に防止することができる脱気装置を提供すること。【解決手段】 1本以上の気体透過性チューブからなる脱気エレメントが真空チャンバー内に配設されてなる脱気装置であって、この脱気装置に真空チャンバー内の液漏れを検知するための液漏れセンサーが設けられてなる脱気装置とした。

請求項（抜粋）：

1本以上の気体透過性チューブからなる脱気エレメントが真空チャンバー内に配設されてなる脱気装置であって、この脱気装置に真空チャンバー内の液漏れを検知するための液漏れセンサーが設けられてなることを特徴とする脱気装置。

IPC (3件)：

B01D 19/00 ,  B01D 19/00 101 ,  B01D 63/06

FI (3件)：

B01D 19/00 H ,  B01D 19/00 101 ,  B01D 63/06

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 液体供給システム及び液体供給方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-311151   出願人：ノベラス・システムズ・インコーポレイテッド