特許
J-GLOBAL ID：200903075249759525
面位置検出光学装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐藤 正年 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-163247
公開番号（公開出願番号）：特開平6-066543
出願日： 1993年06月08日
公開日（公表日）： 1994年03月08日
要約：
【要約】【目的】 対物光学系の作動距離を大きくする必要なしに容易に被検面の上下位置レベルや傾きの検出を行なうことのできる面位置検出光学装置を提供する。【構成】 被検面に対向配置されたレンズを含む対物光学系と、対物光学系の側方から被検面の位置検出用の光束を供給する照射光学系と、受光した光束に対応する電気的出力を生じる光検出手段と、照射光学系から被検面へ供給される入射光束が被検面で反射することによって生じた反射光束を光検出手段の受光部に集光する集光光学系とを備えた面位置検出光学装置において、前記入射光束及び前記反射光束のうちの少なくとも一方を前記レンズを通過する光路に導く導光手段を設けた。
請求項（抜粋）：
被検面に対向して配置されたレンズを含む対物光学系と、前記対物光学系の側方から前記被検面の位置検出のための光束を供給する照射光学系と、受光した光束に対応する電気的出力を生じる光検出手段と、前記照射光学系から前記被検面へ供給される入射光束が前記被検面で反射することによって生じた反射光束を前記光検出手段の受光部に集光する集光光学系とを備えた面位置検出光学装置において、前記照射光学系から前記被検面へ供給される入射光束及び前記被検面から前記集光光学系へ向かう反射光束のうちの少なくとも一方を、前記被検面に対向して前記対物光学系内に配置された前記レンズを通過する光路に導く導光手段を備えたことを特徴とする面位置検出光学装置。
IPC (2件)：
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