特許
J-GLOBAL ID：200903075250193101
基板固定装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
仁科 勝史
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-156097
公開番号（公開出願番号）：特開平6-349896
出願日： 1993年06月02日
公開日（公表日）： 1994年12月22日
要約：
【要約】【構成】?@基板下方が開口部とされた金属ステージと、その上に載置される透明なガラスステージとを有する基板固定装置である。?A金属ステージの内部には真空吸引路が形成され、該真空吸引路より金属ステージのガラスステージとの当接面に向かって吸引穴を設けている。【効果】?@基板3をガラスステージ6に固定するため、熱の損失が少なくなった。?A基板載置部分下方が開口部7とされているため下方からの観察が可能となった。又、必要に応じて紫外線等の照射も可能である。?B真空吸引装置でガラスステージ6を吸着固定することが可能であるため、従来と同様のバキューム方式を採用することができる上、金属ステージ1を余熱しても、熱膨張によるソリが生じないものとなった。
請求項（抜粋）：
基板載置部分下方が開口部とされた金属ステージと該金属ステージ上に載置される透明なガラスステージとを有する基板固定装置であって、金属ステージには、内部に別設の真空吸引装置と連結される真空吸引路を形成し、該真空吸引路より金属ステージのガラスステージとの当接面に向かって形成された吸引穴を所望個数設けたことを特徴とする基板固定装置。
IPC (3件)：
H01L 21/60 311
, H01L 21/52
, H01L 21/68
