特許
J-GLOBAL ID:200903075255156409

感光性樹脂組成物

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 岩見谷 周志
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-276463
公開番号(公開出願番号):特開平11-092660
出願日: 1997年09月24日
公開日(公表日): 1999年04月06日
要約:
【要約】【課題】パターン形成後250°C以下でイミド化を行うことができ、得られる皮膜が基材に対して良好な接着性を示すとともに金属腐食の恐れがない感光性樹脂組成物の提供。【解決手段】(A)式(1):【化1】〔式中、Xは、式(2-1)〜(2-4):【化2】から選ばれ、Yは式(3)の二価の芳香族基30〜100モル%と式(4)の二価の芳香族基70〜0モル%とよりなり、【化3】(式(3)において、Rは式(5):-NH-CH2CH2OCO-CH(CH3)=CH2 (5)で示される基および水酸基より選ぱれ、かつRのうち50モル%以上は式(5)で示される基からなる。式(4)において、Bは式(6-1)〜(6-3):【化4】から選ばれる。)Zは、式(7):【化5】(bは5〜80の整数)で示され、m及びnは整数であって、m/(m+n)は0.70〜0.98〕の構造を有し、平均分子量5,000〜150,000のポリイミド樹脂100重量部、及び(B)光重合開始剤0.0l重量部〜20重量部を含有する感光性樹脂組成物。
請求項(抜粋):
(A)一般式(1):【化1】〔式中、Xは、式(2-1)、(2-2)、(2-3)及び(2-4):【化2】で表される基から選ばれ、Yは、下記式(3)で示されるメタクリロキシ基を含有する二価の芳香族基30〜100モル%と下記式(4)で示される二価の芳香族基70〜0モル%とよりなり、【化3】(式(3)において、Rは式(5):-NH-CH2CH2OCO-CH(CH3)=CH2 (5)で示されるメタクリロイル基含有基及び水酸基より選ぱれる基であり、かつRのうち50モル%以上は、式(5)で示される基からなる。式(4)において、Bは式(6-1)、(6-2)及び(6-3):【化4】で表される基より選ばれる。)Zは、式(7):【化5】(式中bは、5〜80の整数である。)で示される二価のシロキサン含有基であり、m及びnは整数であって、m/(m+n)は0.70〜0.98の範囲である。〕で表される構造を有し、平均分子量5,000〜150,000のポリイミド樹脂100重量部、及び(B)光重合開始剤0.0l重量部〜20重量部を含有してなる感光性樹脂組成物。
IPC (2件):
C08L 79/08 ,  C08K 5/00
FI (2件):
C08L 79/08 Z ,  C08K 5/00

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