特許

J-GLOBAL ID：200903075262178388

無水アンチモン酸亜鉛半導体ガスセンサー及びその製造方法

発明者： 玉置 純 ,  太田 勇夫 ,  坂田 英雄
出願人/特許権者： 日産化学工業株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-059430
公開番号（公開出願番号）：特開平11-258193
出願日： 1998年03月11日
公開日（公表日）： 1999年09月24日
要約：

【要約】【課題】 硫化水素を始めとする各種還元性ガスを検知する無水アンチモン酸亜鉛半導体ガスセンサー及びその製造方法を提供する。【解決手段】 無水アンチモン酸亜鉛半導体をガス検知部に用いたガス検知用センサーである。検知するガスが硫化水素ガスである本願記載のガス検知用センサー。本願のガス検知用センサーの製造方法は、0.8〜1.2のZnO/Sb2O5モル比に亜鉛化合物とコロイダル酸化アンチモンを混合した後、300〜680°Cで焼成後、粉砕して得られた導電性無水アンチモン酸亜鉛を含有するゾルを素子基板に塗布した後、680°Cを越え1000°C未満の温度で加熱処理するものである。

請求項（抜粋）：

無水アンチモン酸亜鉛半導体をガス検知部に用いたガス検知用センサー。

IPC (2件)：

G01N 27/12 ,  C01G 30/02

FI (3件)：

G01N 27/12 B ,  G01N 27/12 M ,  C01G 30/02