特許
J-GLOBAL ID：200903075273279100
X線用ハーフミラー型フィルタおよびそれを用いた波長選択方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中村 純之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-185742
公開番号（公開出願番号）：特開平10-031096
出願日： 1996年07月16日
公開日（公表日）： 1998年02月03日
要約：
【要約】【課題】X線用ハーフミラー型のフィルタによって、不要な長波長の真空紫外から紫外線領域の光を反射させ、必要とする軟X線領域の光のみを透過させることにより、従来法における波長選択性の不完全さを解消し、高い透過率を有する波長選択性の良好なX線用ハーフミラー型のフィルタを提供する。【解決手段】極薄膜の膜面に対し斜めに入射する軟X線から真空紫外ないし紫外線領域の光の入射角と、入射光に含まれる特定波長λcの光の全反射臨界角とを等しくする材料からなる極薄膜によって構成したX線用ハーフミラー型フィルタとなし、必要な軟X線領域の光を透過させ、不要な真空紫外ないし紫外線領域の長波長の光を反射させることにより波長選択を行う。
請求項（抜粋）：
極薄膜の膜面に対し斜めに入射する軟X線から真空紫外ないし紫外領域の光の入射角と、上記入射光に含まれる特定波長λcの光の全反射臨界角とを等しくする材料からなる極薄膜により少なくとも構成してなることを特徴とするX線用ハーフミラー型フィルタ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G21K 3/00 S
, G21K 1/06 B
