特許
J-GLOBAL ID：200903075276175748
液体噴射記録ヘッドの製造方法
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-125041
公開番号（公開出願番号）：特開平7-329305
出願日： 1994年06月07日
公開日（公表日）： 1995年12月19日
要約：
【要約】【目的】 インク流路等の高さを部分的に変化させることが可能で安価な精密であり、信頼性も高い高解像度の液体噴射記録ヘッドの製造方法を提供する。【構成】 基板上にアルカリ現像可能な第1及び第2感光性樹脂層で形成する液体噴射記録ヘッドの製造方法において、前記第1感光性樹脂層のアルカリ現像液の強度が第2感光性樹脂層のアルカリ現像液よりも強いことを特徴とする液体噴射記録ヘッドの製造方法。
請求項（抜粋）：
インク吐出圧力発生素子が形成された基板上にアルカリ現像可能な第1感光性樹脂層を形成し、流路を形成するための光照射を行い、アルカリ現像を行う工程と前記第1感光性樹脂層で形成された流路パターン上に更にアルカリ現像可能な第2感光性樹脂層を形成し、流路を形成するための光照射を行い、アルカリ現像を行う工程と前記第1および第2感光性樹脂層で形成された流路パターンを被覆する樹脂層を形成する工程と前記第1感光性樹脂層または第1および第2感光性樹脂層が前記被覆樹脂層で被覆された部分を切断することにより吐出口を形成する工程と前記第1および第2感光性樹脂層で形成された流路パターンを基体上より除去する工程とを少なくとも含む液体噴射記録ヘッドの製造方法において、前記第1感光性樹脂層のアルカリ現像液の強度が第2感光性樹脂層のアルカリ現像液よりも強いことを特徴とする液体噴射記録ヘッドの製造方法。
IPC (2件)：
B41J 2/16
, C08L 25/18 LEK
