特許

J-GLOBAL ID：200903075287194450

超微小材料試験機

発明者： 山本 靖則
出願人/特許権者： 株式会社島津製作所
代理人 (1件)： 永井 冬紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-131099
公開番号（公開出願番号）：特開平5-322732
出願日： 1992年05月22日
公開日（公表日）： 1993年12月07日
要約：

【要約】【目的】 圧子が試料に当接するまでの変位量に拘らず常に正確な測定結果が得られる超微小材料試験機を提供する。【構成】 無負荷状態で圧子を変位させるときに必要な変位荷重を変位計17の検出出力から演算し、試料に負荷される荷重が予め記指令された荷重値となるように、演算された変位荷重で指令信号に基づく駆動信号または指令された荷重値を補正する補正手段38,35を備える。

請求項（抜粋）：

駆動アクチュエータで発生する力で圧子を変位させる変位機構と、少なくとも指令された荷重値に基づいて形成された駆動信号に基づいて、前記圧子が所定の負荷荷重で試料を押圧するように前記駆動アクチュエータを駆動制御する駆動制御装置と、前記圧子の変位を検出する変位計とを備えた超微小材料試験機において、無負荷状態で圧子を変位させるときに必要な変位荷重を前記変位計の検出出力から演算し、前記試料に負荷される荷重が前記指令された荷重値となるように、前記演算された変位荷重で前記駆動信号または前記指令された荷重値を補正する補正手段を備えることを特徴とする超微小材料試験機。