特許
J-GLOBAL ID：200903075290575716
円柱状金属部品とその製造方法及びその製造装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
川瀬 茂樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-127988
公開番号（公開出願番号）：特開平10-046360
出願日： 1991年11月19日
公開日（公表日）： 1998年02月17日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 円柱状金属部品に硬質炭素膜をコ-テイングして摩耗を抑える方法がある。しかし金属と硬質炭素膜との密着性が悪いので極めて能率の悪いイオンビ-ム蒸着法でなければ金属母材の上に硬質炭素膜を付けることができない。円柱状金属母材の上に硬質炭素膜を被覆する能率の良い方法を提供することが目的である。【構成】 円柱状金属母材の上に、アモルファスシリコンの中間層をPVD法によって形成し、この上に硬質炭素膜を形成する。アモルファスシリコンと硬質炭素膜の密着性が良いので、硬質炭素膜の形成は時間のかからないCVD法で行うことができる。生産性の高い方法によって耐摩耗性に富んだ円柱状金属部品を作ることができる。
請求項（抜粋）：
円柱状金属母材の外周面の少なくとも一部にアモルファスシリコン中間層が被覆され、その上に硬質炭素層が被覆されていることを特徴とする円柱状金属部品。
IPC (3件)：
C23C 28/04
, C23C 16/26
, C23C 14/10
C23C 28/04
, C23C 16/26
, C23C 14/10
