特許
J-GLOBAL ID：200903075296727143
電子走査型X線源による物品の構造検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
本庄 武男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-225782
公開番号（公開出願番号）：特開平6-074918
出願日： 1992年08月25日
公開日（公表日）： 1994年03月18日
要約：
【要約】【目的】 検査対象領域の広い被検査物に対して,被検査物を最短の移動量で移動させるようにして,検査能率の向上がなしえる電子走査型X線源による物品の構造検査装置を提供する。【構成】 X線を発生させる電子走査範囲と被検査物の検査対象範囲とを比較し,前記検査対象範囲が前記電子走査範囲内であるときには,検査対象範囲を包含するX線照射を行い,検査対象範囲が電子走査範囲を越えるときには,検査対象範囲を電子走査範囲毎に分割して検査を行うための被検査物の最短移動方向を演算して,移動装置7によって被検査物を順次移動させて全検査対象範囲の検査を行う。電子走査型X線源はX線の照射範囲が広く,また,演算された最短距離で被検査物が移動されるので,検査効率がよく検査作業の能率向上を達成することができる。
請求項（抜粋）：
電子ビームでターゲット面を走査することにより,該ターゲット面からX線を発生させる電子走査型X線源からの前記X線を,移動装置上に載置された被検査物に照射して,該被検査物を透過したX線量を検出することにより,前記被検査物の構造検査を行う電子走査型X線源による物品の構造検査装置において,前記電子ビーム走査によってX線を発生させる電子走査範囲と前記被検査物の検査対象範囲とを比較して,前記検査対象範囲が前記電子走査範囲内であるときには,前記検査対象範囲を包含するX線照射を行い,前記検査対象範囲が電子走査範囲を越えるときには,検査対象範囲を電子走査範囲毎に分割して検査を行うための被検査物の最短移動距離を演算して,前記移動装置を駆動させることを特徴とする電子走査型X線源による物品の構造検査装置。
IPC (2件)：
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