特許

J-GLOBAL ID：200903075297919143

電子放出素子、電子源基板、電子源、表示パネルおよび画像形成装置ならびにそれらの製造方法

発明者： 坂野 嘉和 ,  三道 和宏 ,  重岡 和也 ,  長谷川 光利 ,  貴志 悦朗 ,  宮本 雅彦
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-320927
公開番号（公開出願番号）：特開平9-069334
出願日： 1995年12月11日
公開日（公表日）： 1997年03月11日
要約：

【要約】【課題】 低コストで基板上に多数の電子放出素子を形成し得る電子放出素子の製造方法を提供し、その電子放出素子を用いた良好な電子源基板、電子源、表示パネル、画像形成装置を提供する。【解決手段】 基板上に設けられた一対の電極の間にそれらの電極に接するようにしながら、金属元素を含有する溶液を液滴として付与して導電性薄膜を形成し、その薄膜に電子放出部を設けて電子放出素子とする。

請求項（抜粋）：

基板上に一対の電極と、導電性薄膜とを、これらが接するように形成し、前記導電性薄膜を用いて電子放出部を構成する電子放出素子の製造方法において、前記基板上に金属元素を含有する溶液を液滴として付与し、前記導電性薄膜を形成することを特徴とする電子放出素子の製造方法。

IPC (3件)：

H01J 9/02 ,  H01J 1/30 ,  H01J 31/12

FI (4件)：

H01J 9/02 B ,  H01J 1/30 B ,  H01J 1/30 Z ,  H01J 31/12 C

引用特許：

審査官引用 (5件)

• 特開昭64-005095
  
• 特開昭62-181490
  
• 特開昭63-200041
  
• 特開昭64-064290
  
• 特開平1-296532