特許
J-GLOBAL ID：200903075299382023
ガス供給装置
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
富澤 孝 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-104779
公開番号（公開出願番号）：特開平7-286720
出願日： 1994年04月18日
公開日（公表日）： 1995年10月31日
要約：
【要約】【目的】 常温常圧では液化しやすいプロセスガスを加熱保温しながら所定量正確に供給でき、脱着の容易なガス供給装置を提供すること。【構成】 気体の質量流量を計測しながら所定の質量流量の気体を通過させる質量流量計付電磁弁53と、質量流量計付電磁弁53の入力ポート及び出力ポートとそれぞれ接続する入力ブロック10と出力ブロック11とを有し、常温常圧で液化しやすい気体を供給するガス供給装置であって、上方からの操作で質量流量計付電磁弁53の入力ブロック10及び出力ブロック11への脱着を行う連結手段と、質量流量計付電磁弁53に下方から接触する伝熱部材1とを有し、伝熱部材1の上方が開成した保持溝6に発熱手段51を挿入し、その熱を質量流量計付電磁弁53に伝達し供給される気体の液化を防止する。
請求項（抜粋）：
供給される気体の質量流量を計測しながら所定の質量流量の気体を通過させる質量流量計付流量制御弁と、質量流量計付流量制御弁の入力ポートと接続する入力ブロックと、質量流量計付流量制御弁の出力ポートと接続する出力ブロックとを有し、常温常圧で液化しやすい気体を供給するガス供給装置において、上方からの操作により前記質量流量計付流量制御弁の前記入力ブロック及び前記出力ブロックへの脱着を行う連結手段と、上方が開成した保持溝と、前記質量流量計付流量制御弁の下面に接触する接触面とが形成され、保持溝に挿入された発熱手段が発生する熱を接触面を経由して前記質量流量計付流量制御弁に伝達し供給される気体の液化を防止する伝熱部材とを有することを特徴とするガス供給装置。
IPC (3件)：
F23N 1/00 104
, F23K 5/00 301
, F23N 5/02 341
