特許
J-GLOBAL ID：200903075300694166
マイクロ波放電管の冷却方法及び装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
光石 俊郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-275175
公開番号（公開出願番号）：特開平7-130493
出願日： 1993年11月04日
公開日（公表日）： 1995年05月19日
要約：
【要約】【目的】 マイクロ波放電管における加熱部を効率的に冷却する方法及びを提供することを目的とする。【構成】 マイクロ波発振器6から出力されたマイクロ波を同軸導波管3,4を通じて空胴共振器1中に導入し、マイクロ波の電界によって放電を発生させる装置において、空胴共振器1に結合した同軸導波管3,4の内導体中4を通じて冷媒を空胴共振器1内に導き、マイクロ波伝送路となる同軸導波管3,4、空胴共振器1及び空胴共振器1内部に設置した放電管13を冷却するものである。
請求項（抜粋）：
マイクロ波発振器から出力されたマイクロ波を同軸導波管を通じて空胴共振器中に導入し、マイクロ波の電界によって放電を発生させる装置において、前記空胴共振器に結合した前記同軸導波管の内導体中を通じて冷媒を前記空胴共振器内へ導き、マイクロ波伝送路となる前記同軸導波管、前記空胴共振器及び空胴共振器内部に設置した放電管を冷却することを特徴とするマイクロ波放電管の冷却方法。
IPC (3件)：
H05H 1/46
, C23C 16/26
, C23C 16/50
