特許

J-GLOBAL ID：200903075303833094

電磁駆動プレーナー型ガルバノミラー及びその駆動方法

発明者： 相場 博彦
出願人/特許権者： ミヨタ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-387962
公開番号（公開出願番号）：特開2002-189187
出願日： 2000年12月21日
公開日（公表日）： 2002年07月05日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 可動板を駆動させるため、平面コイルパターンに通電するにることによって発生するミラー平面度の低下を低減した電磁駆動プレーナー型ガルバノミラーとその駆動方法を提供する。【解決手段】 半導体基板14に、平板状の可動板15と該可動板を半導体基板に対して揺動可能に支持するトーションバー16,17とを中抜き状態で一体形成し、前記可動板の上面には反射ミラーを形成し、もう一方の下面には磁性膜を形成し、該磁性膜は膜面の垂直方向に磁化されている。半導体基板14はベース基板20に搭載され、トーションバーを挟むように磁界発生コイルがそれぞれ固定配置される。各コイルに通電されることによって、可動板上に形成されている磁性膜の磁界とにより、相互磁界の反力及び吸引力によって可動板15を駆動させる電磁駆動プレーナー型ガルバノミラーとする。

請求項（抜粋）：

半導体基板に、平板状の可動板と該可動板を半導体基板に対して揺動可能に支持するトーションバーとを一体形成し、前記可動板の上面には反射ミラーを設け、もう一方の下面には磁性膜を設け、該磁性膜を膜面の垂直方向に磁化したことを特徴とする電磁駆動プレーナー型ガルバノミラー。

IPC (3件)：

G02B 26/10 104 ,  B41J 2/44 ,  G02B 26/08

FI (3件)：

G02B 26/10 104 Z ,  G02B 26/08 E ,  B41J 3/00 D

Fターム (12件)：

2C362BA17 ,  2C362BA18 ,  2H041AA12 ,  2H041AB14 ,  2H041AC05 ,  2H041AZ01 ,  2H041AZ08 ,  2H045AB03 ,  2H045AB10 ,  2H045AB16 ,  2H045AB73 ,  2H045DA41

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 光偏向子及びこれを用いた表示装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-208163   出願人：日本ビクター株式会社