特許

J-GLOBAL ID：200903075313266732

真空チャンバ装置および真空計の校正方法

発明者： 神谷 誠一
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-240970
公開番号（公開出願番号）：特開2001-066209
出願日： 1999年08月27日
公開日（公表日）： 2001年03月16日
要約：

【要約】【課題】 一般的な真空計を用いる場合でも、真空計を真空チャンバから取り外す必要なく高真空による校正を行なって、絶対圧力値の測定が保証できるようにする。【解決手段】 真空チャンバ3と、真空計6aと、真空ポンプ13と、真空計6aを真空チャンバ3または真空ポンプ13に対して選択的に切り替えて接続する切替え接続手段12とを備えるようにする。

請求項（抜粋）：

真空チャンバと、真空計と、真空ポンプと、前記真空計を前記真空チャンバまたは真空ポンプに対して選択的に切り替えて接続する切替え接続手段とを具備することを特徴とする真空チャンバ装置。

IPC (2件)：

G01L 21/00 ,  G01L 27/00

FI (2件)：

G01L 21/00 A ,  G01L 27/00

Fターム (11件)：

2F055AA11 ,  2F055BB01 ,  2F055BB08 ,  2F055CC02 ,  2F055DD20 ,  2F055EE25 ,  2F055FF45 ,  2F055FF49 ,  2F055HH01 ,  2F055HH05 ,  2F055HH19