特許
J-GLOBAL ID：200903075320744569

基板外観検査装置、基板外観検査方法及びそのプログラム

発明者：
大平 良司

大平 良司 について


出願人/特許権者：
沖電気工業株式会社

沖電気工業株式会社 について


代理人 (2件)： 大垣 孝 ,  岡田 宏之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-146941
公開番号（公開出願番号）：特開2008-298680
出願日： 2007年06月01日
公開日（公表日）： 2008年12月11日
要約：
【課題】基板外観検査において、不良見落としの確率を低くするとともに、虚報を低減する。【解決手段】撮像手段1110、データ読出手段1120、対象領域抽出手段1310、領域辞書作成手段1340、領域位置合わせ手段1330、検査領域設定手段1350、密度辞書作成手段1360及び検査手段1370を備えて構成される。対象領域抽出手段は、CADデータ1510及び色基本データ1520から計算された対象領域の色と、撮像手段が取得した撮像画像データ1112の色との比較を行って、パッド画像データ1412を抽出する。領域位置合わせ手段は、撮像画像データとCADデータの位置合わせを行って、合わせ画像データ1432を作成する。密度辞書作成手段は、隣り合う対象領域の間隔が閾値以下の場合は高密度領域と判定し、閾値よりも大きい場合は低密度領域と判定する。検査領域設定手段は、高密度領域における非検査領域を、低密度領域における非検査領域よりも小さく設定して、検査画像を生成する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
複数の層からなる基板の外観を検査する基板外観検査装置であって、 入力部、出力部、主演算部及び主格納部を備えて構成され、 前記入力部は、さらに基板の撮像画像データを取得する撮像手段と、 前記基板の設計図面であるCADデータと、前記複数の各層に用いられる材料が示す色成分及び光の透過率を含む色基本データとを格納しているデータ格納手段から前記CADデータ及び色基本データを読み出すデータ読出手段とを備え、 前記主演算部は、さらに 前記CADデータ及び色基本データから計算された、密度計算の対象領域が示す色成分の階調値と、前記撮像画像データの各画素が示す色成分の階調値との比較を行って、前記撮像画像データから対象領域の情報を抽出し、前記撮像画像データに前記対象領域の情報を付加して対象領域画像データを作成する対象領域抽出手段と、 前記CADデータから、前記基板を前記対象領域と、該対象領域以外の非対象領域とに分類する領域辞書を作成して前記主格納部に格納する領域辞書作成手段と、 前記領域辞書から抽出した対象領域データと、前記対象領域画像データから切り出した対象領域画像とを用いて、前記対象領域画像データと前記領域辞書の位置合わせを行って、合わせ画像データを作成する領域位置合わせ手段と、 前記対象領域画像データから、隣り合う対象領域の間隔が予め設定した閾値以下の場合は、当該対象領域が含まれる領域を高密度領域と判定し、一方、隣り合う対象領域の間隔が前記閾値よりも大きい場合は、当該対象領域が含まれる低密度領域と判定して、前記基板の各領域を前記高密度領域及び低密度領域とに分類する密度辞書を作成する密度辞書作成手段と、 前記合わせ画像データ及び前記密度辞書を用いて、前記高密度領域における非検査領域の面積を、前記低密度領域における非検査領域の面積よりも小さく設定して、検査画像を生成する検査領域設定手段と、 前記検査画像を用いて基板の外観を検査して、検査結果を前記主格納部に格納する検査手段とを備え、 前記出力部は、前記検査結果を外部に出力する ことを特徴とする基板外観検査装置。
IPC (4件)：
G01N 21/956 ,  G01J 3/46 ,  G01B 11/24 ,  H05K 3/00
FI (5件)：
G01N21/956 B ,  G01J3/46 Z ,  G01B11/24 F ,  G01B11/24 K ,  H05K3/00 Q
Fターム (46件)：
2F065AA17 ,  2F065AA22 ,  2F065AA56 ,  2F065AA58 ,  2F065BB02 ,  2F065CC01 ,  2F065CC25 ,  2F065FF04 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ19 ,  2F065JJ26 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ31 ,  2F065QQ39 ,  2F065RR09 ,  2G020AA08 ,  2G020DA04 ,  2G020DA12 ,  2G020DA31 ,  2G020DA34 ,  2G020DA52 ,  2G051AA65 ,  2G051AA68 ,  2G051AB01 ,  2G051AB02 ,  2G051AB07 ,  2G051AC21 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G051CB05 ,  2G051CC07 ,  2G051EA08 ,  2G051EA11 ,  2G051EA12 ,  2G051EA14 ,  2G051EA16 ,  2G051EA17 ,  2G051EB01 ,  2G051EB02 ,  2G051EC06 ,  2G051EC07 ,  2G051ED01 ,  2G051ED04 ,  2G051ED05 ,  2G051ED11 ,  2G051ED23
引用特許：
出願人引用 (1件)
  • 外観検査装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-332243   出願人：大日本印刷株式会社

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