特許
J-GLOBAL ID：200903075329079240
マイクロレンズ付赤外線検出素子およびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
菊谷 公男 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-294714
公開番号（公開出願番号）：特開平9-113352
出願日： 1995年10月18日
公開日（公表日）： 1997年05月02日
要約：
【要約】【課題】 マイクロレンズ付赤外線検出素子の赤外線の集束率の向上を図る。【解決手段】 赤外線感知部102が形成された第1の半導体基板101に、赤外線感知部102に赤外線を収束するマイクロレンズ105が形成された第2の半導体基板104を、レンズ部105aが赤外線感知部102に凸状に向き、レンズ部105aと赤外線感知部102の間に空洞106が形成されるように接合する。これにより、レンズ部105aを通過した赤外線は赤外線感知部102に直接入射され、赤外線の透過率が向上される。
請求項（抜粋）：
赤外線感知部が形成された第1の半導体基板と、前記赤外線感知部に赤外線を収束するマイクロレンズが形成された第2の半導体基板とを接合して成るマイクロレンズ付赤外線検出素子において、前記マイクロレンズのレンズ部が前記赤外線感知部に向いて凸状に配置され、前記レンズ部と前記赤外線感知部の間に空洞が形成されていることを特徴とするマイクロレンズ付赤外線検出素子。
IPC (3件)：
G01J 1/02
, G02B 3/00
, G01J 1/04
G01J 1/02 B
, G02B 3/00 A
, G01J 1/04 A
