特許
J-GLOBAL ID：200903075329339640
基板搬送装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石戸 元
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-085500
公開番号（公開出願番号）：特開平6-275701
出願日： 1993年03月19日
公開日（公表日）： 1994年09月30日
要約：
【要約】【目的】 高速搬送においても、基板搬送保持装置上での基板2の位置ずれを最も少なくする基板搬送保持装置を提供する。【構成】 基板搬送保持装置11上に少なくとも一個所以上に傾斜面15を有するアライメントピン14を有する。
請求項（抜粋）：
減圧または真空槽内における基板の受け渡しを、移動可能な基板搬送保持装置と前記槽内に設けられた基板上下ピン間にて行われる基板搬送方式において、基板搬送保持装置上に少なくとも一個所以上に傾斜面を有するアライメントピンを有することを特徴とする基板搬送装置。
IPC (2件)：
引用特許：
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