特許
J-GLOBAL ID：200903075332321272
プローブカード及びその使用方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-294844
公開番号（公開出願番号）：特開平8-152436
出願日： 1994年11月29日
公開日（公表日）： 1996年06月11日
要約：
【要約】【目的】プローブカードの探針6とボンディングパッド時の接触抵抗を常に低く安定させる。【構成】プローブカードの探針6の先端部はボンディングパッド表面と接触時に平行になる底面1とオーバードライブ時にボンディングパッド表面と平行になる底面2とを有する。
請求項（抜粋）：
半導体基板上のパッドに当接させる探針を備えたプローブカードにおいて、前記探針先端のうち前記パッドとの当接面が前記探針の長軸と所定の角度をなす第1の平面と、前記第1の平面と所定の角度をなす第2の平面とを有することを特徴とするプローブカード。
IPC (3件)：
G01R 1/073
, G01R 31/26
, H01L 21/66
