特許

J-GLOBAL ID：200903075337290014

ダイボンディング装置

発明者： 小 林 弘 明
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 佐藤 一雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-166104
公開番号（公開出願番号）：特開平6-013416
出願日： 1992年06月24日
公開日（公表日）： 1994年01月21日
要約：

【要約】【目的】 上下方向に対するコレットの位置を正確に検出することができ、機構が簡単で、装置の体積や重量が小さく、且つ、安価なダイボンディング装置を提供する。【構成】 ダイボンディング装置を、ダイ載置手段19と、ダイ載置手段19上のダイ2を保持するチャック手段を有するコレット12と、コレット12を上下動させるリニアモータ21と、ダイ載置手段19上のダイ2を下から突き上げる突き上げニードル31と、コレット12を水平動させる水平駆動手段と、リードフレーム載置手段と、コレット12の上下方向の位置を検出する位置センサ29と、位置センサ29から入力したコレット12の位置情報に基いてリニアモータ21の駆動を制御することでコレット12を下降させる際の移動速度およびダイ2をリードフレーム1のボンディング面に押圧する際の加圧力を制御するリニアモータ制御手段とで構成する。

請求項（抜粋）：

リードフレームのボンディング面に一定の加圧力でダイを押圧することによって、このダイを接着するダイボンディング装置であって、前記ダイを載置するダイ載置手段と、このダイ載置手段上に載置された前記ダイを保持するためのチャック手段を有するコレットと、このコレットを上下動させるリニアモータと、前記ダイ載置手段に載置された前記ダイを前記チャック手段が保持する際にこのダイを前記ダイ載置手段から分離させる分離手段と、前記コレットを水平動させる水平駆動手段と、前記リードフレームを載置するリードフレーム載置手段と、前記コレットの上下方向の位置を検出する位置センサと、この位置センサから入力した前記コレットの位置情報に基いて前記リニアモータの駆動を制御することにより、前記コレットを上下動させる際の移動速度および前記ダイを前記リードフレームの前記ボンディング面に押圧する際の加圧力を制御するリニアモータ制御手段と、を具備することを特徴とするダイボンディング装置。