特許

J-GLOBAL ID：200903075356907812

アクリル系重合体および感放射線性樹脂組成物

発明者： 藤原 考一 ,  西村 功
出願人/特許権者： JSR株式会社
代理人 (1件)： 和気 操
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-191566
公開番号（公開出願番号）：特開2005-023234
出願日： 2003年07月04日
公開日（公表日）： 2005年01月27日
要約：

【課題】放射線に対する透明性が高く、しかも感度、解像度、ドライエッチング耐性、パターン形状等のレジストとしての基本物性に優れ、特に、レジスト溶剤への溶解性に優れるとともに、現像後のパターンのラインエッジラフネスを低減する。【解決手段】置換基としてフッ素化アルキル基を有し、かつラクトン骨格を含む脂環式炭化水素構造を有する繰り返し単位を含むアクリル系重合体であり、特に脂環式炭化水素構造を有する繰り返し単位が下記式(1)および下記式(2)で表される繰り返し単位から選ばれる少なくとも1つの繰り返し単位である。【化1】【選択図】 無

請求項（抜粋）：

置換基としてフッ素化アルキル基を有し、かつラクトン骨格を含む脂環式炭化水素構造を有する繰り返し単位を含むことを特徴とするアクリル系重合体。

IPC (4件)：

C08F20/10 ,  C08F220/10 ,  G03F7/039 ,  H01L21/027

FI (4件)：

C08F20/10 ,  C08F220/10 ,  G03F7/039 601 ,  H01L21/30 502R

Fターム (26件)：

2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA03 ,  2H025AA09 ,  2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025CB14 ,  2H025CB41 ,  2H025CC03 ,  2H025FA17 ,  4J100AL08P ,  4J100AL08Q ,  4J100AL08R ,  4J100BB18P ,  4J100BB18Q ,  4J100BB18R ,  4J100BC03R ,  4J100BC04R ,  4J100BC53P ,  4J100BC53Q ,  4J100JA38