特許
J-GLOBAL ID：200903075362733613
ワークの上面を基準としたセットアップ方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
秋元 輝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-087544
公開番号（公開出願番号）：特開平5-259442
出願日： 1992年03月12日
公開日（公表日）： 1993年10月08日
要約：
【要約】【目的】 サイリスタチップ等のワークの上面に高精度のテーパ加工を施せるようにした、ワークの上面を基準としたセットアップ方法を提供する。【構成】 サイリスタチップの如く上面を高精度に加工する必要のある場合におけるセットアップ方法であって、ワークの上面と研削工具の位置関係を高精度に検出するために発光素子と受光素子からなる光センサーを使用する。発光素子によって発せられる光は、ワークと工具の端部によって一部が遮られ、受光素子は透過する光の量を検出することでワークの上面と工具の端部との位置関係を高精度に検出する。
請求項（抜粋）：
サイリスタチップの如く上面を高精度に加工する必要のある場合におけるセットアップ方法であって、ワークの上面とブレード、コアードリル等の工具の位置関係を高精度に検出するために発光素子、受光素子からなる光センサーを使用し、この発光素子によって発せられる光はワークと工具の端部によって一部が遮られ、受光素子は透過する光の量を検出することでワークの上面と工具の端部との位置関係を高精度に検出することを特徴とするワークの上面を基準としたセットアップ方法。
IPC (5件)：
H01L 29/74
, G01B 11/14
, H01L 21/304 301
, H01L 29/66
, H01L 33/00
