特許

J-GLOBAL ID：200903075363254409

搬送工程レイアウト方法並び複合機能ロボット及び完全密閉構造を成したクランプ方式アライナ装置。

発明者： 板垣 泰仁
出願人/特許権者： 板垣 泰仁 ,  物井 哲雄
代理人 (1件)： 福村 直樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-305415
公開番号（公開出願番号）：特開2005-051188
出願日： 2003年07月28日
公開日（公表日）： 2005年02月24日
要約：

【課題】ロボットの搬送作業とアライナ装置のノッチ合せ作業が同時処理できるウエハー搬送工程ユニットを提供する。【解決手段】アライナ装置をロボット中心に配置し、ロボットフィンガーとアライナ装置間において、ウェハーを上下方向への移動及びそのウェハーを反転することことができるにし、また、フィンガーをスイングさせるようにするようにして、搬送作業とノッチ合せ作業を同時に処理するように構成、さらに、ロボットとアライナ装置間での相互干渉とチャックレバーとノッチ位置が重なってもノッチ隠れがないように構成にした。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

ウェハーの搬送工程レイアウトにおいて、アライナ装置(B2)をロボットの第1アーム蓋(A1a)に配置することによって、アライナ装置のポジション及び同ポジションへの搬送作業が省けるとともに、搬送作業及びノッチ合せ作業を並行して行えることを特徴とするウェハー搬送工程のレイアウト方法。

IPC (3件)：

H01L21/68 ,  B25J9/06 ,  B65G49/07

FI (3件)：

H01L21/68 A ,  B25J9/06 D ,  B65G49/07 C

Fターム (43件)：

3C007AS24 ,  3C007BS15 ,  3C007BT11 ,  3C007CT04 ,  3C007CV07 ,  3C007CW07 ,  3C007CY00 ,  3C007CY27 ,  3C007DS01 ,  3C007ES02 ,  3C007ET09 ,  3C007EU01 ,  3C007EV07 ,  3C007EV27 ,  3C007HS27 ,  3C007HT02 ,  3C007HT16 ,  3C007HT20 ,  3C007HT21 ,  5F031CA02 ,  5F031FA01 ,  5F031FA07 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031FA15 ,  5F031GA06 ,  5F031GA07 ,  5F031GA13 ,  5F031GA15 ,  5F031GA36 ,  5F031GA43 ,  5F031GA47 ,  5F031HA13 ,  5F031JA13 ,  5F031JA35 ,  5F031JA36 ,  5F031KA02 ,  5F031KA14 ,  5F031KA18 ,  5F031LA07 ,  5F031LA12 ,  5F031LA13 ,  5F031PA09

引用特許：

審査官引用 (1件)

• シリコンウェハー搬送装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-056097   出願人：株式会社メックス