特許
J-GLOBAL ID:200903075370141636
電子放出素子及びその製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
有我 軍一郎
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-015629
公開番号(公開出願番号):特開平5-211030
出願日: 1992年01月31日
公開日(公表日): 1993年08月20日
要約:
【要約】【目的】 本発明は、電子放出素子及びその製造方法に関し、陰極先端に電界集中し易く、電子引出し効率を向上させて信頼性を向上させることができる電子放出素子を提供するとともに、複数個の陰極形状のばらつきが小さく、しかも陰極先端と電子引出し用電極が正確に位置合わせされた電子放出素子を容易に歩留まりよく形成することができる電子放出素子の製造方法を提供することを目的とする。【構成】 アルミニウム多孔性陽極酸化膜の孔内に形成された電子放出材料部材を陰極とするように構成する。
請求項(抜粋):
アルミニウム多孔性陽極酸化膜の孔内に形成された電子放出材料部材を陰極とすることを特徴とする電子放出素子。
IPC (2件):
引用特許:
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