特許

J-GLOBAL ID：200903075370655257

荷電粒子ビームモニタ

発明者： 取越 正己
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 曾我 道照 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-194046
公開番号（公開出願番号）：特開平5-041196
出願日： 1991年08月02日
公開日（公表日）： 1993年02月19日
要約：

【要約】【目的】 この発明は、例えば荷電粒子加速装置で用いられる荷電粒子ビーム形状・位置を安定して高精度に検出できる荷電粒子ビームモニタを得ることを目的とする。【構成】 モニタ本体27は、XおよびY方向陽極板23、24を3枚の陰極板20で挟み込んだ積層構造で構成されている。このモニタ本体27を構成する陰極板20、XおよびY方向陽極板23、24のそれぞれには、モニタ本体27の外周端面と開口部とを連通するスリット22が形成されている。このモニタ本体27をガス気密箱26内に気密保持して荷電粒子ビームモニタ19を構成している。ガス気密箱26には、Oリング9を介してビーム入射窓2が気密保持されている。

請求項（抜粋）：

開口部、前記開口部を覆うように一方の面に配線された複数のワイヤおよび前記開口部と外周端面とを連通するように他方の面に設けられたスリットを有するXおよびY方向陽極板のそれぞれを、開口部、前記開口部を覆うように一方の面に配線された複数のワイヤおよび前記開口部と外周端面とを連通するように他方の面に設けられたスリットを有する3枚の陰極板で挟み込んで構成するモニタ本体と、ガス気密箱とを備え、前記モニタ本体を前記ガス気密箱内に気密保持したことを特徴とする荷電粒子ビームモニタ。

IPC (3件)：

H01J 47/06 ,  G01T 1/29 ,  H05H 7/00

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭54-018792
  
• 特開平1-211852
  
• 特開昭62-005194
  
• 特開昭46-012523