特許

J-GLOBAL ID：200903075371321433

薄膜冷陰極及びそれを用いた電子線露光装置

発明者： 会田 敏之 ,  大嶋 卓 ,  佐々木 進 ,  矢口 富雄 ,  楠 敏明 ,  成清 正 ,  山田 絵実子 ,  品田 博之
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-329149
公開番号（公開出願番号）：特開平6-177020
出願日： 1992年12月09日
公開日（公表日）： 1994年06月24日
要約：

【要約】【目的】 単色の電子線で、かつ面状の電子線源およびそれを用いた露光装置を提供する。【構成】 MIM構造の薄膜冷陰極の絶縁薄膜に単結晶あるいは高配向のアルミニウム酸化膜を用いる

請求項（抜粋）：

真空中に電子放出させる上部金属電極(M)、トンネル電流を通す絶縁薄膜(I)、電子供給源の下部金属電極(M)からなるMIM構造の薄膜冷陰極において、上記絶縁膜は単結晶あるいは高配向のアルミニウム酸化膜を有することを特徴とする薄膜冷陰極。

IPC (5件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 504 ,  G03F 7/20 521 ,  H01J 1/30 ,  H01J 37/305