特許

J-GLOBAL ID：200903075376809990

微量金属不純物の分析方法

発明者： 馬場 秀治
出願人/特許権者： 株式会社トクヤマ
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-185200
公開番号（公開出願番号）：特開2002-005799
出願日： 2000年06月20日
公開日（公表日）： 2002年01月09日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 易熱分解性化合物、易揮発性化合物を溶解した水溶液、超純水等の試料中微量金属不純物を迅速に且つ精度良く分析することが可能な分析方法の提供。【解決手段】 試料溶液15中の微量金属不純物を分析する方法において、上記試料溶液をマイクロ波透過性の素材よりなる縦長容器に存在せしめて、マイクロ波発生装置13と熱風発生装置14等の通常の加熱手段とを有するチャンバー12内に置き、マイクロ波による加熱と試料容器の壁面加熱とを同時或いは順次実施して試料溶液を蒸発及び/又は分解し、得られる残渣を取り出して分析する。

請求項（抜粋）：

試料溶液中の微量金属不純物を分析する方法において、該試料溶液を、マイクロ波透過性の素材よりなる縦長容器に存在せしめてマイクロ波発生装置のチャンバー内に置き、次いで加熱により該縦長容器内で発生するガスを縦長容器がチャンバー内に対して密閉された状態で縦長容器とチャンバー外とを連通するガス排除手段によって排除しながら、該試料溶液のマイクロ波による加熱と縦長容器の壁面加熱とを同時或いは順次実施して試料溶液を蒸発及び/又は分解し、得られる残渣を取り出して分析することを特徴とする試料溶液中の微量金属不純物の分析方法。

IPC (6件)：

G01N 1/36 ,  G01N 1/28 ,  G01N 21/31 610 ,  G01N 21/73 ,  G01N 27/62 ,  G01N 31/00

FI (6件)：

G01N 21/31 610 A ,  G01N 21/73 ,  G01N 27/62 V ,  G01N 31/00 S ,  G01N 1/28 Z ,  G01N 1/28 K

Fターム (15件)：

2G042AA01 ,  2G042CB06 ,  2G042DA05 ,  2G042EA05 ,  2G042HA02 ,  2G043AA01 ,  2G043BA01 ,  2G043CA04 ,  2G043EA08 ,  2G043GA07 ,  2G043GB07 ,  2G059AA01 ,  2G059BB04 ,  2G059CC03 ,  2G059DD01