原子力顕微鏡用チップの製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-044805
公開番号（公開出願番号）：特開平8-285872
出願日： 1996年03月01日
公開日（公表日）： 1996年11月01日
要約：

【要約】【課題】小さな寸法の原子力顕微鏡用チップを高い正確度で製造することができ、かつチップを実質的に純粋なシリコンで構成する。【解決手段】周辺表面と前端部表面13とを有する均一の先細にされた円筒形のチップ10を形成し、このチップ上の周囲表面に沿ってカーボンマスク15a、15cを、前端部表面13上にカーボンマスク15bをそれぞれ形成し、チップと各カーボンマスクの両者から材料を除去するために予め定められた時間だけチップをエッチングし、予め定められた時間の後に上記各マスクを完全に除去し、上記チップからの材料の除去によって上記各マスクが除去された位置の方向を向いた3個のスパイク32a、32b、32cを形成する。

請求項（抜粋）：

周辺表面と前端部表面とを有する実質上縦方向に細長い固体チップを形成し、上記固体チップ上の上記周囲表面に沿って第1、第2のマスクを、上記前端部表面上に第3のマスクをそれぞれ形成し、上記固体チップと上記第1、第2及び第3のマスクの両者から材料を除去するために予め定められた時間だけ上記固体チップをエッチングし、予め定められた時間の後に上記各マスクを完全に除去し、上記固体チップからの材料の除去によって上記各マスクが除去された位置の方向を向いた3個のスパイクを形成することを特徴とする原子力顕微鏡用チップの製造方法。

IPC (3件)：

G01N 37/00 , G01B 21/30 , H01J 37/28

FI (3件)：

G01N 37/00 F , G01B 21/30 Z , H01J 37/28 Z

引用特許：

出願人引用 (4件)

特開平3-075501
特許第5242541号
特許第5171992号

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審査官引用 (2件)

特開平3-075501
特開平3-208327

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