特許
J-GLOBAL ID：200903075389469365
半導体圧力計
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小沢 信助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-004069
公開番号（公開出願番号）：特開平5-187945
出願日： 1992年01月13日
公開日（公表日）： 1993年07月27日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 直線性特性が向上された半導体圧力計を提供するにある。【構成】 半導体チップ1と、該半導体チップ1に設けられ該半導体チップに起歪部たるダイアフラム3を構成する凹部とを具備する半導体圧力計において、前記半導体チップ1のダイアフラム3外の該半導体チップに設けられた半導体圧力検出素子11を具備したことを特徴とする半導体圧力計である。
請求項（抜粋）：
半導体チップと、該半導体チップに設けられ該半導体チップに起歪部たるダイアフラムを構成する凹部とを具備する半導体圧力計において、前記半導体チップのダイアフラム外の該半導体チップに設けられた半導体圧力検出素子を具備したことを特徴とする半導体圧力計。
IPC (2件)：
G01L 9/04 101
, H01L 29/84
