特許
J-GLOBAL ID：200903075392450950

複合X線分析装置

発明者：
佐藤 正雄

佐藤 正雄 について


出願人/特許権者：
セイコーインスツルメンツ株式会社

セイコーインスツルメンツ株式会社 について


代理人 (1件)： 坂上 正明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-160848
公開番号（公開出願番号）：特開2002-350373
出願日： 2001年05月29日
公開日（公表日）： 2002年12月04日
要約：
【要約】【課題】 非破壊・非接触の特徴を有するX線を利用して無機物の元素分析と構造解析を小型な一台の装置で実現する。【解決手段】 蛍光X線を検出して元素分析・定量分析するための小型のエネルギー分散型X線検出器と、構造解析のためのCCDラインセンサーとで構成され、X線管球ターゲット構造をMo上のCu層とし、低加速電圧で励起した場合は、発生するCu-K線と連続X線をCuフィルターで単色化させ、得られる線質(Cu-K線)をX線回折に利用し、高加速電圧で励起した場合、発生するCu-K線、Mo-K線および連続X線をMoあるいはZrフィルターで吸収させることによってCu-K線をカットし、得られるMo-K線および連続X線を蛍光X線分析に利用する。
請求項（抜粋）：
X線高圧電源、X線管球、シャッター、コリメータ、試料ステージ、試料観察光学系および操作制御演算部と、蛍光X線を検出して元素分析・定量分析するためのエネルギー分散型X線検出器と、構造解析のための小型なCCDラインセンサーを装備する装置で、X線管球が陽極ターゲット表面がCrまたはCu薄膜層で下地がMoまたはRhで構成されるX線管球であり、X線管球への印加電圧を切り換える機能によって、低加速電圧を印加した場合、発生する低エネルギーのCrまたはCu-K線を単色化するためのCrまたはCuフィルターが設定することができ、これによって得られたX線ビームをX線回折に適用し、高加速電圧を印加した場合、蛍光X線分析で邪魔となるCrまたはCu-K線を吸収させるMoまたはZrフィルターが設定され、得られたX線ビームを蛍光X線分析に適用することを特長とする蛍光X線分析とX線回折の2機能を有する複合X線分析装置。
IPC (7件)：
G01N 23/223 ,  G01N 23/20 ,  G21K 1/06 ,  G21K 3/00 ,  G21K 5/02 ,  G21K 5/08 ,  H01J 35/08
FI (9件)：
G01N 23/223 ,  G01N 23/20 ,  G21K 1/06 G ,  G21K 3/00 M ,  G21K 3/00 S ,  G21K 5/02 X ,  G21K 5/08 X ,  H01J 35/08 B ,  H01J 35/08 C
Fターム (20件)：
2G001AA01 ,  2G001AA10 ,  2G001BA04 ,  2G001BA18 ,  2G001CA01 ,  2G001DA01 ,  2G001DA06 ,  2G001DA08 ,  2G001EA03 ,  2G001EA06 ,  2G001EA09 ,  2G001GA09 ,  2G001HA09 ,  2G001HA13 ,  2G001NA12 ,  2G001NA13 ,  2G001NA16 ,  2G001NA17 ,  2G001SA02 ,  2G001SA10
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (6件)
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