特許
J-GLOBAL ID：200903075398036099
ヒーティング機能付真空弁
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
富澤 孝 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-111243
公開番号（公開出願番号）：特開平8-285132
出願日： 1995年04月11日
公開日（公表日）： 1996年11月01日
要約：
【要約】【目的】 弁体等反応ガスの付着しやすい弁体部を110度程度まで加熱でき、かつ省電力タイプのヒーティング機能付真空弁を提供すること。【構成】 ヒーティング機能付真空弁は、出力ポート35が真空発生装置に接続され、入力ポート34が真空チャンバーに接続され、真空チャンバーに反応ガスが供給されているときに、真空チャンバー内の真空圧力を調整する真空弁であって、弁座25に対して移動して隙間を変化することにより、真空容器内の真空圧力を調整する弁体14と、弁体14内に密着して固設された棒状ヒータ13と、棒状ヒータ13に真空弁の外部から電力を供給するリード線12とを備える加熱手段とを有している。
請求項（抜粋）：
出力ポートが真空発生装置に接続され、入力ポートが真空容器に接続され、真空容器に反応ガスが供給されているときに、真空容器内の真空圧力を調整する真空弁において、弁座に対して、移動して隙間を変化することにより、前記真空容器内の真空圧力を調整する弁体と、前記弁体内に密着して固設された棒状ヒータと、棒状ヒータに前記真空弁の外部から電力を供給するリード線とを備える加熱手段とを有することを特徴とするヒーティング機能付真空弁。
IPC (2件)：
FI (2件)：
F16K 49/00 B
, F16K 51/02 A
