特許

J-GLOBAL ID：200903075402306578

投影露光装置

発明者： 谷口 哲夫
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 立石 篤司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-135856
公開番号（公開出願番号）：特開平9-298151
出願日： 1996年05月02日
公開日（公表日）： 1997年11月18日
要約：

【要約】【課題】 投影光学系内に発生するガスによる結像特性の変動を防止するようにする。【解決手段】 投影光学系PLの空間部26の中では、レンズエレメントとこれを保持する金属部材との間に使われる接着剤や充填剤からガスが発生すると、通常の空気と異なる屈折率となり、投影光学系PLの結像特性を変化させる。結像特性の変化は、結像特性測定機構62により測定される。結像特性が変化した場合は、空間部26の開口部30に接続したベローズポンプ38を駆動して外部の空気を吹き込み、空間部26内のガスを含む空気を開口部32から排出させる。これにより、投影光学系PLの空間部26内は、通常の空気の屈折率となり、ガスによる結像特性の変動を防止することができる。

請求項（抜粋）：

マスクのパターン像を投影光学系を介して感光基板上に投影する投影露光装置において、前記投影光学系内部の光路部分の気体と前記投影光学系外部の気体とを入れ換える気体入れ換え手段を備えていることを特徴とする投影露光装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (2件)：

H01L 21/30 516 F ,  G03F 7/20 521