特許

J-GLOBAL ID：200903075406070790

薄膜太陽電池パネルの製造方法および薄膜太陽電池パネルの洗浄水の水切り装置

発明者： 林 克彦
出願人/特許権者： 鐘淵化学工業株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-228521
公開番号（公開出願番号）：特開2001-053309
出願日： 1999年08月12日
公開日（公表日）： 2001年02月23日
要約：

【要約】【課題】 洗浄水中に分散しているパーティクルが基板に再付着するのを避けながら、十分に水切りを実施でき、従来よりも光電変換特性が改善された薄膜太陽電池パネルを製造できる方法を提供する。【解決手段】 基板上に形成された第1の電極層、光電変換半導体層または第2の電極層をレーザースクライブし、洗浄した後、水切りを行う際に、基板(1)の上下にそれぞれ基板搬送方向に直交する方向に対して傾斜するように2本以上のエアーカッター(7a、7b、7c)を、互いに隣り合うエアーカッターの最近接の端部どうしが基板搬送方向で見て離間し基板搬送方向に直交する方向で見て重なるように設置し、各エアーカッター(7a、7b、7c)から基板1に対して圧縮空気を噴射して水切りを行う。

請求項（抜粋）：

基板上に形成された第1の電極層をレーザースクライブし、洗浄した後、水切りを行う工程と、第1の電極層上に光電変換半導体層を製膜してレーザースクライブし、洗浄した後、水切りを行う工程と、光電変換半導体層上に第2の電極層を製膜してレーザースクライブし、洗浄した後、水切りを行う工程とを具備した薄膜太陽電池パネルの製造方法において、前記各水切り工程は、基板の上下にそれぞれ基板搬送方向に直交する方向に対して傾斜するように2本以上のエアーカッターを、互いに隣り合うエアーカッターの最近接の端部どうしが基板搬送方向で見て離間し基板搬送方向に直交する方向で見て重なるように設置し、各エアーカッターから基板に対して圧縮空気を噴射することにより行われることを特徴とする薄膜太陽電池パネルの製造方法。

IPC (3件)：

H01L 31/04 ,  B23K 26/00 ,  B23K101:40

FI (2件)：

H01L 31/04 B ,  B23K 26/00 D

Fターム (5件)：

4E068AD00 ,  4E068DA09 ,  5F051BA11 ,  5F051EA16 ,  5F051EA20