特許
J-GLOBAL ID：200903075408940201
紫外線照射装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-239236
公開番号（公開出願番号）：特開平10-092709
出願日： 1996年09月10日
公開日（公表日）： 1998年04月10日
要約：
【要約】【課題】 筐体の閉塞を簡素な構成で良好に行うことが可能な紫外線照射装置を提供すること。【解決手段】 紫外線照射装置20において、搬入口23および搬出口24、照射窓26が形成された筐体21と、搬入口23から搬出口24へ基板21を搬送する基板搬送手段と、紫外線照射手段と、駆動源と押上げ部材33とを有しこの基板21を照射窓26に近接する方向へ駆動する駆動手段と、押上げ部材33と一体的に設けられ、押上げ部材33が駆動されたときに搬入口23と搬出口24とを閉塞する一対のシャッター37とを具備したことを特徴としている。上記構成によると、上記押上げ部材と上記一対のシャッターとが一体的に設けられているため、上記押上げ部材に連結されている駆動源のみで上記一対のシャッターの上下動をも良好に行うことができる。そのため上記筐体内部の閉塞性を単純な構造で良好なものにできる。
請求項（抜粋）：
基板の表面に紫外線を照射する紫外線照射装置において、搬入口および搬出口が形成されているとともに上記紫外線を基板の表面に照射させる照射窓が形成された筐体と、上記筐体内部に設けられ、上記搬入口から搬出口へ基板を搬送する基板搬送手段と、上記筐体の照射窓に対向して設けられ、紫外線を上記基板表面に照射する紫外線照射手段と、駆動源とこの駆動源によって駆動される押上げ部材とを有し、上記基板が上記照射窓に対向位置したときにこの基板を上記照射窓に近接する方向へ駆動する駆動手段と、上記押上げ部材と一体的に設けられ、この押上げ部材が駆動されたときに上記搬入口と搬出口とを閉塞する一対のシャッターと、を具備したことを特徴とする紫外線照射装置。
IPC (4件)：
H01L 21/027
, A61L 2/10
, B08B 7/00
, H01L 21/304 341
H01L 21/30 572 B
, A61L 2/10
, B08B 7/00
, H01L 21/304 341 D
