特許
J-GLOBAL ID：200903075409555344
エレクトレット応用装置及びその製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石田 長七 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-070766
公開番号（公開出願番号）：特開平9-257833
出願日： 1996年03月26日
公開日（公表日）： 1997年10月03日
要約：
【要約】【課題】性能ばらつきの小さいエレクトレット応用装置及びその製造方法を提供する。【解決手段】 固定電極を有する固定片20と、可動電極を兼ねる可動部10a’を有する可動片10とが接合してある。固定片20には可動部10a’に対向する部位に帯電用電極25が形成され、接点41に対向する部位に絶縁膜27aを介して接点42が形成されている。エレクトレット3の表面電位は、固定片20と可動片10とを接合した後に、帯電用電極25に高電圧を印加しコロナ放電を発生させて、エレクトレット3を帯電させることにより調整されている。
請求項（抜粋）：
固定電極を有する固定片と、前記固定電極に空隙を介して対向する可動部を有し前記可動部が揺動自在に支持され前記固定片に接合された可動片と、前記固定電極及び前記可動部のいずれか一方に形成されたエレクトレットと、前記エレクトレットに対向する部位に形成された帯電用電極とを有することを特徴とするエレクトレット応用装置。
IPC (3件)：
G01P 15/125
, G01L 9/12
, H01H 59/00
G01P 15/125
, G01L 9/12
, H01H 59/00
