ウエハチヤツク

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：伊東哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-232520
公開番号（公開出願番号）：特開平5-047909
出願日： 1991年08月21日
公開日（公表日）： 1993年02月26日
要約：

【要約】【目的】耐久性を向上させるとともに異物付着を防止し安定したウエハの平面矯正が可能なウエハチャックを提供する。【構成】ウエハ搭載面側にウエハ吸着用の負圧構2を有し、母材5をセラミックスで構成したウエハチャックにおいて、該セラミックス母材5の表面を高分子化合物3でオーバーコートした。

請求項（抜粋）：

ウエハ搭載面側にウエハ吸着用の負圧溝を有し、母材をセラミックスで構成したウエハチャックにおいて、該セラミックス母材の表面を高分子化合物でオーバーコートしたことを特徴とするウエハチャック。

IPC (2件)：

H01L 21/68 , H01L 21/027

引用特許：

審査官引用 (3件)

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