特許
J-GLOBAL ID：200903075414115654
原子間力顕微鏡及びこれにおけるプローブの接近方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
四宮 通
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-064303
公開番号（公開出願番号）：特開平11-248723
出願日： 1998年02月27日
公開日（公表日）： 1999年09月17日
要約：
【要約】【課題】 原子間力顕微鏡において、大気中においても、プローブの試料表面への接近を一回の動作で済ませ、短時間で高分解能の試料表面形状の測定を開始させる。【解決手段】 探針4を有するカンチレバー3を備えたプローブ1を圧電素子12により励振させつつ、プローブ1の振動状態が一定になるように、移動装置18によりプローブ1と試料50とを相対的に移動させて、試料50表面の形状データを得る測定モードを行う。プローブ1として探針4に熱電対を有するものを用い、前記測定モードを開始する際に、レーザ光源20からのレーザ光照射によりカンチレバー3を加熱しつつ、プローブ1と試料50の表面とを相対的に接近させていき、前記熱電対からの信号に基づいて前記接近を停止させる。
請求項（抜粋）：
探針を有するカンチレバーを備えたプローブを励振させつつ、前記プローブの振動状態が一定になるように、前記プローブと試料表面とを相対的に移動させて、前記試料表面の形状データを得る測定モードを行う原子間力顕微鏡において、前記測定モードを開始する際に前記プローブと前記試料表面とを相対的に接近させるプローブの接近方法であって、前記プローブとして前記探針に温度検出部を有するプローブを用い、前記カンチレバーを加熱しつつ、前記プローブと前記試料表面とを相対的に接近させていき、前記温度検出部からの信号に基づいて前記接近を停止させることを特徴とするプローブの接近方法。
IPC (4件)：
G01N 37/00
, G01B 21/30
, G01K 1/14
, G01K 7/02
G01N 37/00 F
, G01B 21/30 Z
, G01K 1/14 L
, G01K 7/02 A
