特許

J-GLOBAL ID：200903075414861453

精密移動装置及びこれを用いた走査型プローブ顕微鏡

発明者： 三木 一司
出願人/特許権者： 工業技術院長
代理人 (1件)： 工業技術院電子技術総合研究所長
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-155859
公開番号（公開出願番号）：特開平8-021842
出願日： 1994年07月07日
公開日（公表日）： 1996年01月23日
要約：

【要約】【目的】 最小移動距離が短く(移動距離分解能が高く)、かつ最大移動距離の長い精密移動装置を得る。【構成】 精密移動装置1を微動装置10と粗動装置30とから構成する。試料Sは機械的駆動型の粗動装置30の上に載持する。試料Sに対向する対向部材20としての探針20は微動装置10に支持させる。微動装置10は、それぞれx方向駆動用、y方向駆動用、z方向駆動用の各ピエゾ効果素子11,12,13の重合構造から構成する。

請求項（抜粋）：

試料に対向する対向部材を該試料の表面に沿って面内走査するため、ピエゾ効果素子により該対向部材を微動可能に支持した微動装置と;上記試料を載持し、上記微動装置が上記対向部材を移動し得る最大移動距離よりも大きな移動距離に亙り、該試料を直接に面内移動させる機械的駆動型の粗動装置と;を有して成る精密移動装置。

IPC (6件)：

G01N 37/00 ,  G01B 7/34 ,  G01B 21/30 ,  H01J 37/20 ,  H01J 37/28 ,  H01L 41/09

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特公平3-005021
  
• 走査型トンネル顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-266270   出願人：オリンパス光学工業株式会社
• 特開平2-271204
  
• 特開平2-147804