エッチング部品の製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-207006
公開番号（公開出願番号）：特開平9-053190
出願日： 1995年08月14日
公開日（公表日）： 1997年02月25日
要約：

【要約】【課題】エッチング部品の製造において、パターン露光時のパターンマスクへの光照射により生じるパターン形状不良、および、パターン位置精度不良等を防止したエッチング部品の製造方法を提供する。【解決手段】エッチング部品の製造方法において、パターン露光に用いるパターンマスクへの光照射中に、所定の温度に制御された冷却風をパターンマスクの被光照射面側に当てる手段を具備し、パターンマスクの冷却を行うことを特徴とするエッチング部品の製造方法。

請求項（抜粋）：

表面に感光性樹脂層を形成した金属素材に、透明基板上に所定の遮光パターンを形成したパターンマスクを介して光を照射し、パターン露光を行なう露光工程と、前記金属素材に現像、硬膜処理を行ない、所定部位の金属素材面を露出したレジスト膜を形成する現像工程と、前記金属素材にエッチングを行ない金属素材にエッチングパターンを形成するエッチング工程と、前記レジスト膜を剥膜する剥膜工程とを少なくとも有するフォトエッチング法を用いたエッチング部品の製造方法において、前記パターンマスクへの光照射中に、所定の温度に制御された冷却風を前記パターンマスクの被光照射面側に当てる手段を具備し、パターンマスクの冷却を行うことを特徴とするエッチング部品の製造方法。

IPC (3件)：

C23F 1/00 , C23F 1/00 102 , H01J 9/14

FI (3件)：

C23F 1/00 C , C23F 1/00 102 , H01J 9/14 G

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