特許
J-GLOBAL ID：200903075415467759
画像表示装置及びその製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-196281
公開番号（公開出願番号）：特開平8-043858
出願日： 1994年07月29日
公開日（公表日）： 1996年02月16日
要約：
【要約】【目的】 非晶質半導体材料を用いた駆動回路やスイッチング素子の特性を均一化し、十分な駆動力が得られるようにする。【構成】 アクティブマトリックス形式の画像表示装置を構成する少なくとも一部の素子215の活性要素が、単一の結晶核212から固相成長した連続する結晶構造を有する結晶粒213の内部に存在するようにする。素子としては画素の駆動回路を構成する素子215や画素のスイッチング素子216が該当する。結晶粒は、非晶質シリコン膜204等に形成される。単一の結晶核は、エキシマレーザ光等の局所的なエネルギー線210を与えることにより、あるいは局所的なイオン注入と熱処理を行なう等により形成される。
請求項（抜粋）：
アクティブマトリックス形式の画像表示装置であって、該装置を構成する少なくとも一部の素子の活性要素が、単一の結晶核から固相成長した連続する結晶構造を有する結晶粒の内部に存在することを特徴とする画像表示装置。
IPC (5件)：
G02F 1/136 500
, H01L 21/20
, H01L 27/12
, H01L 29/786
, H01L 21/336
