ステージシステム

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-340169
公開番号（公開出願番号）：特開平9-174373
出願日： 1995年12月27日
公開日（公表日）： 1997年07月08日
要約：

【要約】【課題】駆動されたステージの反作用力のうち振動の高周波成分を遮断し、高精度の位置計測を実現する。【解決手段】モーター1とベース部2との間にメカニカルフィルター3を配置することにより、ステージ4の反作用力における特定の周波数領域の振動が、モーター1、ベース部2を経てボディ5に伝播するのを防ぐ。又、別のメカニカルフィルターは、バネ、ダンパー及びステージの移動方向に摺動する摺動部から構成される。

請求項（抜粋）：

駆動部と、該駆動部を載置するベース部と、前記駆動部によって駆動されるステージと、前記ベース部及びステージを載置するボディと、から成るステージシステムにおいて、前記駆動部とベース部との間に、ステージの移動方向に運動自在であり、ステージからの反作用力における特定の振動周波数領域のみを遮断するメカニカルフィルターを設けたことを特徴とするステージシステム。

IPC (4件)：

B23Q 11/00 , F16F 15/02 , H01L 21/68 , H01L 21/027

FI (4件)：

B23Q 11/00 A , F16F 15/02 Q , H01L 21/68 F , H01L 21/30 503 A

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