レジスト樹脂用モノマー

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：吉武賢次 , 中村行孝 , 紺野昭男 , 横田修孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-163504
公開番号（公開出願番号）：特開2004-331981
出願日： 2004年06月01日
公開日（公表日）： 2004年11月25日
要約：

【課題】短波長光に対する透明性が優れるとともに高いドライエッチング耐性を備え、かつアルカリ現像で解像性の良好で密着性の高いレジストパターンを形成することができる感光性組成物に用いることができるレジスト用樹脂を製造するためのモノマーの提供。【解決手段】アダマンタン環の少なくとも1つの環状炭素が-(C=O)-に変換された骨格を構造を含み、かつ重合反応時に結合部位として作用する基であるヒドロキシル基およびカルボキシル基からなる群から選ばれる基を少なくとも1種類を2個以上有することを特徴とするモノマー化合物。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

アダマンタン環の少なくとも1つの環状炭素が-(C=O)-に変換された骨格を構造を含み、かつ重合反応時に結合部位として作用する基であるヒドロキシル基およびカルボキシル基からなる群から選ばれる基を少なくとも1種類を2個以上有することを特徴とするモノマー化合物。

IPC (5件)：

C08F20/10 , C07C49/513 , C07C62/24 , C08G63/199 , H01L21/027

FI (5件)：

C08F20/10 , C07C49/513 , C07C62/24 , C08G63/199 , H01L21/30 502R

Fターム (41件)：

2H025AA04 , 2H025AA09 , 2H025AA14 , 2H025AB16 , 2H025AC04 , 2H025AC08 , 2H025AD03 , 2H025BE00 , 2H025BG00 , 2H025FA03 , 2H025FA12 , 2H025FA17 , 4H006AA03 , 4H006AB46 , 4H006BJ30 , 4H006BR70 , 4H006BS20 , 4H006BS90 , 4J029AA03 , 4J029AB01 , 4J029AB07 , 4J029AC02 , 4J029AC03 , 4J029AD01 , 4J029AE18 , 4J029BD02 , 4J029BD10 , 4J029CD03 , 4J029CD07 , 4J029EG06 , 4J029EG08 , 4J029JC021 , 4J100AL08P , 4J100AL08Q , 4J100BA11P , 4J100BC09P , 4J100BC52P , 4J100BC53Q , 4J100CA01 , 4J100CA04 , 4J100JA38

引用特許：

審査官引用 (2件)

重合性アダマンタン誘導体及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-106364 出願人：ダイセル化学工業株式会社, 石井康敬
アシル化剤とそれを用いたアシル化法、及びアダマンタン誘導体
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-353620 出願人：ダイセル化学工業株式会社, 石井康敬

引用文献：

審査官引用 (4件)

Adamantane and its derivatives. 1. Hydrazones and pyrazolones of adamantane
Triple-diamond structure of 2,6-dioxoadamantane-1,3,5,7-tetracarboxylic acid (hydrate) as host latti
Structure-property relationship in a thin film composite reverse-osmosis membrane

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