特許
J-GLOBAL ID：200903075420353281
微粒子検出器調整用の標準粒子供給装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
梶山 佶是 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-134748
公開番号（公開出願番号）：特開平8-304262
出願日： 1995年05月08日
公開日（公表日）： 1996年11月22日
要約：
【要約】【目的】 アトマイザが発生する、標準粒子を含む調整用エアの気圧の変動を吸収し、安定な大気圧として検出セルに供給する。【構成】 調整用エアAr の流量に比較して十分に大きい容量を有し、クリーンエアAC が自由に流入して大気圧p0 に維持され、流入する調整用エアAr の気圧の変動を吸収して、安定な大気圧p0 の調整用エアAr'を検出セル11に供給するバッファチャンバ31と、バッファチャンバ31に対して設けられ、吸入した外気AA より塵埃を除去してクリーンエアAC を作成するヘッパフィルタ33、とにより構成される。
請求項（抜粋）：
アトマイザにより発生され、標準粒子を含む大気圧より大きい圧力の調整用エアを、微粒子検出器の検出セル内に吸入し、該調整用エアに対してレーザビームを直交させ、該標準粒子の散乱光を受光した受光器の受光信号による、該微粒子検出器の各部の調整において、該アトマイザに接続して設けられ、該アトマイザより流入する調整用エアの流量に比較して十分に大きい容量を有し、クリーンエアが自由に流入して大気圧の雰囲気に維持され、該流入する調整用エアの気圧の変動を吸収し、大気圧として前記検出セルに供給するバッファチャンバと、該バッファチャンバに対して設けられ、吸入した大気エアより塵埃を除去して前記クリーンエアを作成するヘッパフィルタ、とにより構成されたことを特徴とする、微粒子検出器調整用の標準粒子供給装置。
IPC (3件)：
G01N 15/14
, G01N 15/00
, G01N 21/47
G01N 15/14 A
, G01N 15/00 C
, G01N 21/47 Z
