特許
J-GLOBAL ID:200903075422867347

ワーク検査装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 佐藤 一雄 (外3名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-255465
公開番号(公開出願番号):特開平11-094601
出願日: 1997年09月19日
公開日(公表日): 1999年04月09日
要約:
【要約】【課題】 ワークの検査を連続して行なうことができるとともに、全体の検査効率を高めることができるワーク検査装置を提供する。【解決手段】 ワーク検査装置10はワーク供給部11と、ワークを2個ずつまとめてバッチ式で搬送する複数ワーク搬送部12とを備えている。複数ワーク搬送部12のワークは、耐圧検査部13において2個ずつまとめて検査される。耐圧検査を終了したワークは、単独ワーク搬送部19によって1個ずつ搬送され、耐圧検査以外の電気測定が1個ずつのワークに対して行なわれる。その後ワークはワーク送出部21から外方へ送り出される。
請求項(抜粋):
被測定物であるワークを順次供給するワーク供給部と、ワーク供給部の下流側に配置され、ワークを複数個ずつまとめてバッチ式で搬送する複数ワーク搬送部と、複数ワーク搬送部の下流側に配置され、複数個のワークに対して同時に耐圧検査を行なう耐圧検査部と、耐圧検査部に接続され、ワークを単数個ずつバッチ式で搬送する単独ワーク搬送部と、単数ワーク搬送部に沿って設けられ、耐圧検査以外の電気測定を行なう電気測定ステーションと、単数ワーク搬送部の下流側に設けられたワーク送出部と、を備えたことを特徴とするワーク検査装置。
IPC (2件):
G01D 21/00 ,  G01R 31/00
FI (2件):
G01D 21/00 N ,  G01R 31/00
引用特許:
審査官引用 (5件)
  • 半導体装置の製造方法
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平4-297917   出願人:ソニー株式会社
  • 特開昭60-206093
  • 特開昭63-058268
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