特許

J-GLOBAL ID：200903075435091690

ガス放電レーザ用ガス混合体の組成維持方法およびモニタ装置

発明者： イゴール・ブラーギン ,  ユルゲン・クラインシュミット
出願人/特許権者： ラムダ・フィジーク・ゲゼルシャフト・ツァ・ヘルシュテルンク・フォン・ラーゼルン・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング
代理人 (1件)： 奥山 尚一 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-168802
公開番号（公開出願番号）：特開2001-044534
出願日： 2000年06月06日
公開日（公表日）： 2001年02月16日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 ガス混合体の状態を正確にかつ定期的に決定することができ、またスムーズに調整することができる方法およびレーザシステムを提供する。【解決手段】 本発明の方法および装置は、レーザガス放電チャンバ内のガス混合体の直流ブレイクダウン電圧をブレークダウン電圧検出ユニット10で測定し、その直流ブレイクダウン電圧の情報を放電ガス混合体の組成を調整することに使用することに基づくものである。放電チャンバのガス混合体の直流ブレイクダウン電圧の値をそれらのガス混合体の組成の調整動作をコントロールすることに使用するガス放電レーザシステムが提供される。このレーザシステムは、ガス混合体自身の直流ブレイクダウン電圧に従って、放電ガス混合体の組成を調整する調整用フィードバックループを提供することによって、レーザの出力ビームのパラメータを安定に維持する。

請求項（抜粋）：

エキシマーレーザまたは分子フッ素レーザのガス放電チャンバの放電ガス混合体の組成を維持する方法であって、(a)前記混合体の直流ブレイクダウン電圧を測定するステップと、(b)前記測定の結果に基づいて前記ガス混合体を補充するステップと、を備えることを特徴とするガス放電レーザ用ガス混合体の組成維持方法。

IPC (4件)：

H01S 3/036 ,  H01S 3/097 ,  H01S 3/134 ,  H01S 3/225

FI (4件)：

H01S 3/03 J ,  H01S 3/134 ,  H01S 3/097 Z ,  H01S 3/223 E