微小可動機械とその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：内原晋
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-225752
公開番号（公開出願番号）：特開平5-064464
出願日： 1991年09月05日
公開日（公表日）： 1993年03月12日
要約：

【要約】【目的】微小機械を多層構造にすることで、運動エネルギーを容易に外部や周囲の可動部に取り出すことを可能とする。【構成】高濃度ボロン拡散によるシリコンエッチストップを用いた多層構造の微小可動機械である。第一層目に静電気力で運動エネルギーを与えると、与えられたエネルギーは突起5と空隙6を伝わって第二層目に伝達される。第二層目に伝達されたエネルギーは歯車やビーム等を使って外部に取り出すことが可能となる。

請求項（抜粋）：

外部から印加された力により可動電極が運動する微小可動機械において、突起を持った可動部と、前記可動部の上層または下層に位置し、かつ前記突起がはまる空隙を持った可動部の少なくとも二層以上の微小可動機械層から構成されることを特徴とする微小可動機械。

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開平4-272481
特開昭63-154073
特開昭48-035312

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