特許
J-GLOBAL ID:200903075439557384

プロセス材料の表面物性値・表面温度測定装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 高矢 諭 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-352795
公開番号(公開出願番号):特開平5-164618
出願日: 1991年12月16日
公開日(公表日): 1993年06月29日
要約:
【要約】【目的】 鋼板等の表面温度と、酸化膜厚等の物性値の時間変化を同時測定する。【構成】 鋼板Pを1回以上の間欠的測定時刻tiに放射温度計12で測定した輝度温度S1 、S2 から、ブロック14でε1 λ1 /ε2 λ2 を算出し、これを相関関数で変換したε1 /ε2 から温度T(ti)を得る。一方、ブロック18で初期温度時間関数T*(t )を設定し、ブロック20で酸化膜厚時間関数d *(t)=h (T*(t ),Ai )と、放射率時間関数ελ*(t )=g (d *(t ),λ,Bj )とを設定し、該ελ*(t )から全放射率時間関数εtotal (t )、次いで総括熱吸収率時間関数ΦCG(t )を求め、ブロック22でΦCG(t )と炉温Tf とを含む熱伝導方程式を設定し、その解の時刻tiに対応するT**(ti)を得る。ブロック16でT(ti)≠T**(ti)の時はT**(t )を初期関数T*(t )とし、Ai 、Bi を補正し、上記演算を繰返し、等しくなったらその時の温度関数T(t )と、該温度関数から得られる膜厚関数d (t )を出力する。
請求項(抜粋):
プロセス材料の任意の表面位置を共通の視野とする1以上の2色温度計と、上記2色温度計から1回以上の間欠的測定時刻tiにてオンラインで得られる2波長λ1 、λ2 の輝度温度S1 、S2 を用いて、次式で放射率累乗比ε1 λ1 /ε2 λ2 を演算する手段と、 ε1 λ1 /ε2 λ2 =exp {C2 (1/S2 -1/S1 )} (C2 :Plankの第2定数)上記放射率累乗比ε1 λ1 /ε2 λ2 を、予め測定し記憶させた次式の相関関数f により分光放射率比ε1 /ε2 に変換する手段と、ε1 /ε2 =f (ε1 λ1 /ε2 λ2 )上記分光放射率比ε1 /ε2 を用いて2色温度計算を行って実温度T(ti) を算出する温度計算手段と、温度時間関数T*(t )を初期関数として設定する手段と、設定された温度時間関数及び1以上のパラメータを変数とする物性値時間関数を設定する手段と、設定された物性値時間関数、波長及び1以上のパラメータを変数とする放射率時間関数を設定する手段と、設定された放射率時間関数を波長について積分して全放射率時間関数を演算し、該全放射率時間関数から総括熱吸収率時間関数を求める手段と、求められた総括熱吸収率時間関数を、温度時間関数を変数として含む熱伝導方程式に適用し、該熱伝導方程式を解いて温度時間関数T**(t )を算出する手段と、前記温度計算手段から得られる測定時刻tiの実温度T(ti)と、同時刻について上記熱伝導方程式から算出された計算温度T**(ti)とを実質的に一致させるに要する前記物性値時間関数及び放射率時間関数の少なくとも一方に含まれるパラメータを探索する手段と、探索して決定された温度時間関数を出力すると共に、該決定温度時間関数を前記物性値時間関数に適用して物性値を算出し、出力する手段とを、備えたことを特徴とするプロセス材料の表面物性値・表面温度測定装置。
IPC (2件):
G01J 5/00 ,  G01J 5/60

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